Стол вертикального движения Dover Z-Elevator

Столы вертикального движения серии Z-Elevator™ Dover обеспечивают очень компактные, точные значения для достижения вертикального движения. Точные, нециркуляционные направляющие в каждом из четырех углов держат угол наклона и поворота до 15 угловых секунд на полном ходу. Таким образом, конфигурация обеспечивает очень прямое, плавное и повторяющее движение, необходимое для контроля полупроводниковых пластин и сканирования. Обе версии длины хода 0,5 дюйма и 1,0 дюйма доступны с высотой только 2,874 дюйма и 3,150 дюйма. Соотношение 2,5:1 для ZE-5 и 1.25:1 для ZE-10. Такая конструкция обеспечивает высокое разрешение, в то время как безлюфтовая гайка трения обеспечивает отличную повторяемость.

Технические характеристики: