Шариковинтовые приводы с перекрестной роликовой направляющей серии XYR Dover являются низкопрофильными двухкоординатными X-Y столами, разработанные специально для позиционирования полупроводниковых пластин. Другие распространенные области применения включают производственную автоматизацию, микроэлектронную сборку и лазерную обработку. Модель стола XYR-1517 является одним из самых универсальных и популярных платформ в отрасли. Модель была разработана для полупроводниковых инструментов 300 мм, а модели XYR-1511 и XYR-1111 - для позиционирования пластин 200 мм. Модель стола XYR-1511 обеспечивает дополнительную длину хода для загрузочных и разгрузочных целей
Технические характеристики:
Рекомендуем просмотреть
Координатный стол Dover LMB с поперечным шариковым винтом
по-запросу
Под-заказ
Координатные столы Dover Airglide на воздушной подушке
по-запросу
Под-заказ
Координатный стол Dover XYRB с перекрестными роликами
по-запросу
Под-заказ
Поворотный стол с перекрестными роликами Dover RTR
по-запросу
Под-заказ
Координатный стол Dover LM с перекрещивающимися направляющими качения
по-запросу
Под-заказ
Координатный стол Dover MAG с подвижным магнитом
по-запросу
Под-заказ
Столы Dover FiberBeam позиционирования по оси Z на воздушной подушке
по-запросу
Под-заказ
Поворотный стол на шариковой опоре Dover RT
по-запросу
Под-заказ